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CKD PLC對應型模塊集成閥注意事項
特點：
化學氣體供給設備用元件、氮氣清洗關聯元件
采用盒式設計，是進一步實現了小型化（高39.5mm）的高性能
3?4通模塊集成閥。適用缸徑：Φ20～Φ40
應用：半導體制造工序（前工序）化學液體供給設備用元件、
功能介紹：
實現了輕量化、材料用量的減少和節能化。
CKD PLC對應型模塊集成閥注意事項
以焊接的無鉛化為主，使用材料符合JIG-101A A標準。
高性能模塊集成閥，不僅可節省空間，
還具有異的響應性。（N3E0系列內置2個3通閥：
率致力于減少影響環境的化學物質的使用，
A.B氣口均為12ms）保護環境，通過小型化、省電化，
薄型、省空間，MN3/4E00系列薄僅7mm，
有助于節省空間。MN3/4E0系列為厚度僅10mm的
概述：
防止異物混入用的供氣過濾網。節能型產品（選擇項E）耗電更低。
支持個別配線。還備有可簡單插入的減壓閥模塊。
接頭種類豐富，快插接頭對應英制尺寸，適合歐美市場使用。
還支持Φ3、φ1.8氣管，有利于配管的省空間化。豐富的電線連接，
備有各種接插件以及對應多種網絡的串行傳輸產品。
德國BOSCH-REXROTH博士力士樂；美國VICKERS威格士；美國PARKER派克；日本YUKEN油研；日本不二越NACHI；德國HYDAC賀德克；美國DENISON丹尼遜 ；意大利ATOS；德國FIUTEC
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