CKD小型流量傳感器 氣體用

產品型號： FSM2-PVF101-H081

所屬分類：CKD氣動元件

更新時間：2025-03-09

簡要描述：CKD小型流量傳感器 氣體用
較適合半導體、液晶制造域的用途。
無需直管部位，內置新的整流機構，上游側和下游側
大流量、小體積，流量范圍：0.5～1000?/min500、

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CKD小型流量傳感器 氣體用
功能特點：
雙畫面雙色顯示氣體用小型流量傳感器。
均無需直管部位，可自由設置。雙方向測量，顯示一體型、
1000L/min型實現了比原有體積減少30%的小型化。
硅微加工的白金傳感器芯片，實現50m/sec的響應速度。
適合半導體、液晶制造域的用途。
無需直管部位，內置新的整流機構，上游側和下游側
大流量、小體積，流量范圍：0.5～1000?/min500、
潔凈規格，標配有P70（防止發塵）、P80（禁油規格）產品。
備有顯示一體型、顯示分離型2種產品類型。
雙向型可任意設定流向進行測量。高速響應，采用經過

CKD小型流量傳感器 氣體用
技術規格：
溫度特性 ±0.2%F.S./°C以內（15～35°C、25°C基準）
緣體外徑φ1.0 具備功能 流量顯示、流量顯示峰值保持、開關輸出、模擬輸出
使用環境溫度·濕度 0～50°C，90%RH以下
重復性 ±1%F.S.以內 響應時間  50ms以下 流體溫度 0～50°C（不得結露）
Z高使用壓力 0.7MPa 低使用壓力 -0.09MPa 耐壓 1MPa
使用范圍 單向型：3～100％F.S.，雙向型：-100～-3％F.S.，3～100％F.S.
直線性（顯示·模擬輸出） ±3%F.S.以內（2側大氣開放）
消耗電流 注10 50mA以下 導線 φ3.7 相當于AWG26×5芯（接插件連接），
壓力特性 ±5%F.S.以內（-0.09～0.7MPa，2側大氣開放基準）