全新SMC3通電磁閥選擇要點
減少潔凈室內的微粒。
根據工件發塵量可分為1~4個。
根據清潔室內的清潔程度選擇使用。
使用氟素系潤滑脂。
使用帶電防止袋并雙層密封。
無銅/無氟/
無硅系列
＋低發塵 21-/22- ##限制使用銅/氟/硅材質的環境下使用。
使用鋰皂基系潤滑脂。
尺寸與潔凈系列。
密封為普通密封(不采用雙層密封)。
無銅/氟離子系列
名稱 系列 特長/規格
無銅離子/無氟素系列在限制銅離子氟素的環境下使用。
外形尺寸與標準件。
離子注入
將可控數量的離子(硼、
磷)注入到硅片上，高
溫擴散后，使得其電化
學性能顯著改變。
全新SMC3通電磁閥選擇要點
光掩膜形成
將IC回路投射到光掩
膜版上，為下一步的曝
光做準備?？涛g
——顯像，僅未被曝光部分
的感光膜被保留。接著，將
其浸入腐蝕液中，或者暴露
在氣體離子體中，僅曝光
部分被腐蝕，氧化膜上出現
穿孔，硅片上的硅面便顯現
出來。CMP（平坦化）
將硅片表面研磨成
鏡面狀,便成為IC
用的硅片。。搬送工件時，因始動及行程末端的沖擊，可能會對工件有影響。緩和該
沖擊、保護工件、減輕發塵、提高率是我們所追求的。
按搬送系統的目的，按功能可分成搬運、進給、推壓(固定)、提升、回轉
CDM2B20-25Z
SY9220-4D-03 AC220V
VXD245HZ1B
CD55B63-50M
CM2B25-65Z
VQZ3221-5Y1-02
VQZ3121-5Y1-02
3C-IS10-01-6L
CS2D160-300 SMC
VFR6110-5DZ-10 SMC
銷售部